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ウエハ・液晶ハンド
電子カタログ
カタログダウンロードクリーンシリーズ LHACシリーズ
LHAC
装置高速化に伴う高耐久性を追求したハンド。
■一体形状のリニアガイド採用で高剛性、高精度、高寿命。
■ロング爪に対応。
ボディ 材質アルミ
ガイド部材質 SUS440C相当品
ボルト類材質 SUS
グリスフッ素系グリス特殊環境下で使用される場合はお問い合わせ下さい。
クリーン梱包はしておりません。
型式表示方法
仕様
表はスライドします →
型式 |
LHAC-01AS |
LHAC-03AS |
LHAC-04AS |
LHAC-05AS |
LHAC-06AS |
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駆動源 | エアー0.1~0.7MPa | ||||
潤滑 | 無給油 | ||||
周囲温度 (℃) | 5~60 | ||||
動作ストローク(mm) | 5 | 9 | 11 | 15 | 20 |
シリンダ径(mm) | φ12 | φ16 | φ20 | φ25 | φ32 |
ロッド径(mm) | φ6 | φ8 | φ10 | φ12 | φ16 |
内部容積[往復](cm³/回) | 0.32 | 1.58 | 2.89 | 6.32 | 14.07 |
繰り返し精度 (mm) | ±0.01 | ||||
本体質量 (kg) | 0.085 | 0.15 | 0.36 | 0.52 | 0.82 |